名人名企丨常州乐萌携尖端真空腔体解决方案亮相高交会亚洲半导体与集成电路展

半导体单晶生长炉腔体：用于硅、锗等单晶材料制备。

第三代半导体碳化硅（SiC）生长炉腔体：耐超高温环境，支持宽禁带半导体材料生长。

蓝宝石晶体生长炉腔体：应用于LED衬底、光学窗口制造。

超高温密封技术：采用自主焊接工艺，腔体在2000℃持续工作1000小时仍保持高密封性（氦泄漏率＜10⁻¹⁰Pa·m³/s），达国际先进水平。

材料与工艺创新：使用镍基合金、钛材等耐腐蚀材料，结合自动化焊接与精密抛光技术，降低晶格污染风险。

智能化控制：集成PLM、MES系统实现工艺参数实时优化。

广泛应用于半导体产业中，是制造半导体材料和器件的关键设备。光伏单晶炉腔体市占率遥遥领先，覆盖隆基、中环等头部企业。碳化硅生长炉腔体用于电动汽车功率器件，支撑国产第三代半导体产业链。

真空腔体：涵盖高真空（10⁻⁶Pa）、超高真空（10⁻⁹Pa）及半导体专用定制腔体。

镀膜系统：立式/卧式磁控溅射、多腔室连续镀膜机腔体，适配OLED、光学镀膜等工艺。

镀膜均匀性控制：多靶位协同溅射技术，膜厚均匀性误差≤±3%，优于行业标准。

国产化突破：金属掩模板（OLED核心部件）量产打破日韩垄断，成本降低40%。

集成智能化：搭载“高精度智能控制真空镀膜系统”，获江苏省科技进步二等奖。

在半导体芯片制造、光学镀膜、电子器件制造等多个领域有着广泛应用，如：

半导体：PVD/CVD/ALD设备腔体。

显示产业：OLED金属掩模板、柔性屏镀膜。

新能源：复合铜箔/铝箔集流体镀膜。

锂电材料装备：正极材料烧结炉、负极材料石墨化炉、隔膜涂布设备、电解液反应器（六氟磷酸锂产线）。

氢能装备：氢氧分离器，换热器、干燥塔，peM电解槽端板。

非标定制：静置腔、浓缩蒸发器、固态电池材料烧结炉。

效率提升：六氟磷酸锂结晶器及反应器效率提升50%，能耗降25%。

固态电池适配：开发固态电解质烧结炉，支持硫化物/氧化物体系材料量产。

安全标准：通过ASME、CE、KGS认证，满足全球氢能压力容器安全规范。

电解液设备：配套配套韩国亿恩科，瑞泰新材等企业，国产化六氟磷酸锂产线新增营收5亿元。

氢能：水解制氢装置用于绿氢项目。